X射线光电子能谱，简称XPS，是一种元素分析方法。所用激发源(探针)是单色X射线，探测从样品表面出射的光电子的能量分布。由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构，以此来分析元素的价态以及样品的分子结构信息（例如同分异构体以及半导体样品的价带顶位置）。对于深度方向非均相样品中，可以进行元素组成的表面分布分析和深度剖析，或者一定程度上的微区定点分析。

 XPS数据解析是指通过对初始图谱进行定标、分峰、拟合、比对、积分等一系列的操作而获得待测样品结构组成一种数据处理手段，常用的XPS数据解析软件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等。通过XPS数据分析我们可得到样品表面的元素组成、含量、化学价态、官能团种类、化学键合方式等信息，可分为定性分析和定量分析两种。