XPS测试的特点：

• XPS定量分析，属于是半定量分析，误差较大。特别是对于C元素定量以及多孔材料的元素定量。

• XPS测试是微区测试（常规光斑500um），检测深度不超过10nm。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异；如果材料特殊，或者需要深度分析，需要刻蚀处理。

• XPS测试有一定的检测限，原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。