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场发射扫描电子显微镜应用范围和技术

发布人:中科百测 发布时间:2021-12-23 15:13:11

  场发射扫描电子显微镜技术参数:


  放大倍数:30倍-80万倍


  加速电压:0.5-30kKV


  点分辨率:1.0nm (15 kV); 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式)


  信号选择:二次电子模式和背散射模


  样品台最大直径:50mm


  倾转角:T: -5-70°,R:360°


  X射线能谱仪元素分析范围:B5~U92


  X射线能谱仪能量分辨率:130 eV


场发射扫描电子显微镜应用范围和技术


  应用范围:


  SU8020是日立SU8000系列超高分辨率场发射扫描电镜,拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面,使它能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。 仪器采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图像质量,尤其是将低加速电压下的图像质量提高到了新的水平;其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;还选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测,同时配备有高性能的HORIBA EX-350,可同时进行微区、亚微区成分定性和定量以及元素分布分析。


  形貌分析:


  通过形貌分析可获得样品的形貌、粒径、分散性等相关信息,同时还可通过专用的背散射探头对金属、陶瓷样品的质厚衬度像进行进一步的表征,可用于纳米材料、金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观 察,同时还可对材料断口和失效模式进行分析。


  成分分析:


  微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成。可选择性的对样品进行能谱点测、能谱线扫、能谱面分布分析,获得样品中的元素在一个点、一条线、一个面上的分布情况。

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