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XPS测试常见问题解答

发布人:中科百测 发布时间:2022-02-16 14:03:37

  在做X射线光电子能谱XPS测试时,中科百测老师在与很多同学沟通中了解到,好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解,但是对于其原理还属于小白阶段,针对此,中科百测整理了XPS测试常见问题,希望可以帮助到做科研的小伙伴们;


  问题一:所测窄谱元素,含量比为啥跟预期不符?


  1.样品表面被污染


  2.样品分布不均匀


  3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内


  4.XPS是半定量分析,和元素的实际含量会有出入


  PS:XPS是一种典型的表面分析手段,用于定性及半定量分析,测试得到的仅是样品表面几百甚至几 十um大小,几个nm深度的样品信息,不代表样品整体性质


XPS测试常见问题解答


  问题二:样品中,某元素窄谱曲线不光滑,峰刺较多,或没有测出该元素?


  1.元素含量比较低


  2.样品分布不均匀,所测试的光斑范围内,该元素含量较少


  3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内


  问题三:分峰后,某元素结合能位置不对?


  1.确认下数据是否校正(我们给的数据,一般是没有校正的数据)


  2.分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响,某些化学环境会导致峰有正常的偏移


  3.确认下分峰是否正确


  问题四:元素的结合能测试范围和之前的不同,无法对比?


  如果该元素的峰是完整的,可以自行截取至相同结合能范围进行对比,如果不影响分析也可以不进行截取

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