EBSD 技术是基于扫描电子显微镜（SEM）中电子束在倾斜（一般为 70°）样品表面上激发出近似相干的背散射电子，被探头收集并形成衍射菊池花样，从而分析确定晶体结构、取向及相关信息的方法，在材料科学研究中获得了非常广泛的应用。

      EBSD 相关基础知识：

      标定率：计算机准确标定出的菊池花样点数占总采集点数的比值。

      EBSD 物相的鉴定需要计算机采集的物相信息（菊池花样）与数据库作比对。若一致，即可标定；若不一致，则无法标定，即无法准确判断是什么物质。所以只有提供准确的物相信息，才能做准确的 EBSD 测试。

      EBSD 质量主要取决于标定率，而标定率影响因素主要有三个：1.晶粒完整性 2.样品内应力 3.制样水平 若样品本身同时存在晶体和非晶，或样品变形程度很大，抑或抛光质量不好，都将导致标定率偏低。另外，部分样品自身是顺磁性（如 Fe、Co、Ni 等）或者磁性（NdFeB 等），会与 SEM 的磁线圈相互作用而导致实验过程中 SEM 的像散发生动态变化，从而恶化 EBSD 的实验效果。