1. XPS为什么测试信号较弱？

XPS测试信号与检测器接收到的X射线光电子含量有关，而X射线光电子的接受量与样品表面的光滑度，该元素在表面的分布含量，元素在表面的均一度，样品表面污染程度有关。核心原因是表面的元素含量，在实验设计无法更改的情况下，样品不可变情况下，可以通过研细粉末或者块体表面提前抛光处理，新制样品，抽真空保存等方式进行改善（样品一定要是新鲜制备的样品，放置太久可能测试都是污染碳的峰）。您在测试之前进行备注某些元素含量较低，我们也将通过采集参数的优化进行改善。

2. XPS定量结果，元素之间比例或者元素含量和我预期差别太大？


XPS含量分析是一种半定量分析，含量分析公式是Normalised Peak Area = Peak Area / (SF * TXFN * ECF)，Normalised Area * 100 / Sum of Normalised Areas，通过该公式我们可以得知，元素含量和该元素的出峰面积，灵敏度因子有关，而且是归一化之后求得的相对含量比例。因此该定量结果存在误差较大，一般来说误差在20%左右。因此可以进行趋势对比，用于准确元素含量比较则是不合适的。如果需要精确含量分析，建议ICP或者有机元素分析等精确定量方法。

3. XPS定性分析中，元素发生了偏移或者未发生偏移，和我预期不符：


首先判断污染碳是否进行准确校正，如果准确校正的情况下还是发生与预期不符的情况，可以进行数据分析，分析原因，也可以进行不同样品间交叉验证，以及重测验证。

4. XPS定性分析中出现了不该出现的峰形：


首先进行样品的全谱分析，判断样品中都有哪些元素出现，以及不同元素之间的重叠峰问题，如果排除这些仍然无法解释，考虑样品污染问题，比如在制样中引入污染，或者未进行刻蚀处理（氩离子刻蚀会有氩的峰）

5. XPS无法检测H、He的原因：


• H、He的光致电离界面小，信号太弱。 以Scofield计算的结果为例，Al Ka 激发源，C 1s为1.00, H 1s为0.0002, He 1s为0.0082,Li 1s为0.0568。H的1s电子很容易转移，大多数情况下会转移到其他原子附近，所以难检测。

• H、He没有内层电子，外层电子用于成键。如对于H元素而言，有机物中的H一般都是和别的元素成键，自己失去电子，只有原子核，所以用X射线去激发，没有光电子被激发出来，所以只能得到H和C或者其他原子结合的价带信息。

6. XPS的信息深度：


样品的探测深度通常用电子的逃逸深度度量。

电子逃逸深度 λ (Ek)：

• 逃出电子非弹性散射的平均自由程；

电子逃逸深度：

• 金属0.5~3 nm;

• 氧化物2~4 nm;

• 有机和高分子4~10 nm;

通常：取样深度为d=3λ。